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序（xù）號 |
故障原因 |
產生原因 |
原因以及（jí）排除（chú）方法 |
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1 |
蝕刻（kè）深度不夠 |
蝕（shí）刻溫（wēn）度太低 |
加溫蝕（shí）刻液 |
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蝕刻時間太短 |
適當延長蝕刻時間 |
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蝕刻溶液老化，濃度低 |
增加新的蝕刻液 |
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2 |
防蝕層脫落 |
蝕刻液溫度（dù）太高 |
降低蝕刻液（yè）溫度 |
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防蝕（shí）層製作不良 |
加強蝕刻（kè）製作管理 |
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油墨存（cún）放（fàng）時間過長，失效 |
更換新油墨 |
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二次曝光時間（jiān）太短 |
延長二（èr）次曝光時間（jiān） |
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顯影（yǐng）後烘烤溫度太低（dī）或時間太短 |
提高烘烤溫度或延長時間 |
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預處理不（bú）良 |
加強質量管理 |
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3 |
防蝕（shí）層邊緣變脆起層 |
二次曝光時間太長 |
適當縮短二次曝（pù）光時間 |
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4 |
蝕刻表麵有（yǒu）印跡 |
酸（suān）洗溶液氟化物含量（liàng）不夠 |
添加氟化物 |
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酸洗時間（jiān）太短 |
延長酸洗時間 |
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蝕刻溶液失調 |
分析蝕刻溶液 |
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材料質量原因（yīn） |
更換材料 |
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5 |
平（píng）滑（huá）度差 |
雜質含量太高 |
更換溶液 |
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三（sān）氯化鐵質量差 |
選擇質量好的三氯化鐵 |
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活化不良 |
加強活化（huà）過程（chéng） |
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添加（jiā）劑含量不足 |
定期補（bǔ）加添加劑 |
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氯離子濃度太高 |
添加硝酸或硝酸（suān）氨 |
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磷酸離子濃度低（dī） |
添加磷酸 |
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材（cái）料（liào）晶（jīng）粒粗大 |
更換材料 |
